欢迎来到微真空实验室!
我们长期致力于将微纳加工技术应用到真空电子器件上,实现片上微型真空电子器件。传统的真空电子器件一般是基于热阴极的玻璃管/金属管形态,体积大、成本高、难集成,采用微纳加工技术可以实现更小的器件尺寸、更低的成本和阵列集成。本实验室专注研究片上微型电子源技术和片上真空封装技术,力图实现各类真空电子器件的片上化和晶圆级加工,从而在安全、医疗、科研、工业等领域进行广泛地应用。
近期发表
更多近期新闻
更多-
机械应力下六方氮化硼纳米片的介电强度弱化
2025年08月29日 本课题组实现了机械应力下六方氮化硼纳米片的介电强度弱化 -
基于MEMS小型原子气室的高稳定度紧凑型光学频率标准
2025年08月01日 本课题组参与实现了一种基于基于MEMS小型原子气室的高稳定度紧凑型光学频率标准 -
祝贺实验室博士生何一丹、赵彦晴顺利毕业
2025年07月01日 本实验室博士生何一丹与赵彦晴圆满完成博士学业 -
基于悬空钨灯丝的片上热电子源
2025年06月08日 本课题组报道了一种基于悬空钨灯丝的片上热电子源 -
基于放电极焦耳加热方式提高离子风风速和能量效率
2025年05月11日 本课题组实现了一种基于基于基于放电极焦耳加热方式提高离子风风速和能量效率